階    段	OPTM-A1	OPTM-A1	OPTM-A1
波長(zhǎng)范圍	230nm～800nm	360nm～1100nm	900nm～1600nm
膜厚范圍	1nm～35μm	7nm～49μm	16nm～92μm
測(cè)定時(shí)間	1秒/點(diǎn)
光徑大小	10μm（可小至約5μm）
檢 測(cè) 器	CCD	CCD	InGaAs
光    源	氘燈+鹵素?zé)?	氘燈+鹵素?zé)?	鹵素?zé)?
電源規(guī)格	AC100V±10V 500VA (自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格）
尺    寸	556(W)×566(D)×618(H)（自動(dòng)樣品臺(tái)主體規(guī)格）
重    量	約55kg（自動(dòng)樣品臺(tái)主體規(guī)格）

• 顯微分光厚膜儀應(yīng)用特點(diǎn)：

      1.反射對(duì)物鏡片實(shí)現(xiàn)透明基板的高精度測(cè)定

       如果是透明基板，因里面的反射光而無法正確測(cè)出膜厚。通過反射対物鏡片，可物理性的消除里面反射。即使是透明基板也可測(cè)出高精度的膜厚。特別是對(duì)帶有光學(xué)非均質(zhì)的基板效果很好。

      2.顯微分光厚膜儀在微小區(qū)域測(cè)定所瞄定的模式或部位

      在軟件上通過同時(shí)顯示樣品畫面和測(cè)定光采取部位，可很好的確認(rèn)到測(cè)定點(diǎn)。特別是對(duì)有微小點(diǎn)（直徑≥3μm）的形狀的樣品。

      3.顯微分光厚膜儀在紫外區(qū)域?qū)崿F(xiàn)極薄膜的測(cè)定

      在光干涉法中，膜越薄反射率的變化就越小。在紫外區(qū)域，由于膜厚反射率的變化相比可視區(qū)域要大，如果厚度為1nm左右的極薄膜，在紫外區(qū)域的測(cè)定效果很好。

     4.顯微分光厚膜儀在近紅外區(qū)域?qū)崿F(xiàn)帶色樣品的測(cè)定

      在可視區(qū)域，即使時(shí)吸收較強(qiáng)的彩色膜等帶色的樣品，在近紅外區(qū)域幾乎會(huì)變得很透明，所以在近紅外區(qū)域的測(cè)定效果很好。

      5.自動(dòng)XY平臺(tái)實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)自動(dòng)檢測(cè)

      OPTM標(biāo)配XY自動(dòng)平臺(tái)，僅需輸入坐標(biāo)即可自動(dòng)多點(diǎn)檢測(cè)大面積樣品， 實(shí)時(shí)獲取厚度分布圖。平臺(tái)設(shè)有防誤觸光欄，避**測(cè)過程誤觸。平臺(tái)尺寸200mm×200mm，可以檢測(cè)12寸晶圓。

      6.顯微分光厚膜儀的操作便捷，檢測(cè)時(shí)間短

      QC模式—點(diǎn)擊即檢測(cè)；

      R&D模式—非標(biāo)準(zhǔn)樣品檢測(cè)時(shí)間小于1s。